晶圓檢測金相顯微鏡
晶圓檢測金相顯微鏡在當下半導體行業應用還是非常廣泛的,我們通常稱之為晶圓檢測系統或晶圓搬送機。
以AWL系列晶圓檢測系統為例,晶圓在檢測前,匯光科技供應的晶圓檢測系統先通過掃碼槍識別不同晶圓盒(如:Open Cassette、Metal Cassette、FOUP/FOSB等,然后再進行Notch定位,然后再進行晶圓宏觀、微觀檢查,下面小編簡單和大家介紹一下。
●晶圓檢測金相顯微鏡宏觀檢查
晶圓在微觀檢測之前,可先宏觀檢查,設備提供靈活簡易的操作控制搖桿,您可多角度傾斜觀察晶圓正反面,背面中心,邊緣等缺陷,另外由于不同晶圓制造車間燈光環境不同,您可以根據需求選配多種光源,如黃光、白光。
●晶圓檢測金相顯微鏡微觀檢查
晶圓微觀檢測,通過專用晶圓檢測金相顯微鏡,支持明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方法,您可以輕松觀察晶圓短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等問題。軟件也會輸出詳細的數據報告。
匯光科技供應的晶圓檢測金相顯微鏡支持全檢,奇數檢,偶數檢,手動選擇等,大家可根據需求選擇檢測方法。另外我司供應晶圓檢測金相顯微鏡除了AWL系列,還包括進口奧林巴斯晶圓檢查系統,支持多種尺寸晶圓檢測,感興趣的朋友可先來我司了解詳情哦。